Atómica microscópio de força (AFM) ponta da sonda é geralmente utilizados materiais duros (por exemplo, o diamante ou material de Si3N4), a ponta da sonda pode ser usada directamente sobre a superfície da traçagem espécime, de modo a que a forma da ponta de acordo com os requisitos de tamanho da microestrutura varredura através de um controle preciso da ponta da força para controlar a profundidade de pontuação, você pode obter a estrutura de forma exata com requisitos gráficos minúsculos. AFM pode também ser uma medição precisa em linha, a fim de garantir a precisão da traçagem a peça de trabalho.